1200C Sistem PECVD cu trei zone de încălzire
1200C Sistem PECVD cu trei zone de încălzire

1200C Sistem PECVD cu trei zone de încălzire

SK2-CVD-12TPB4 este un cuptor cu tuburi pentru sistemul PECVD, constând din sursă de alimentare RF de 300 W sau 500 W, sistem de curgere de precizie multicanal, sistem de vid și cuptor cu tuburi. Temperatura utilizată în mod obișnuit este de 1100 de grade Celsius sau mai mică, iar principalele sale caracteristici sunt temperatura scăzută de depunere, viteza rapidă, calitatea bună a filmului, mai puține găuri și mai puțin predispus la crăpare. Un dispozitiv ideal pentru creșterea nanofirelor sau pregătirea diferitelor filme subțiri folosind metoda CVD.
Trimite anchetă
Caracteristică

 

● Temperatura maximă RT-1200 grade

● Split tip de cuptor, puteți deschide cuptorul.

● Poate introduce mai mult de 2 canale de gaz, cu un grad de vid de 10Pa folosind o pompă mecanică și o sursă de alimentare RF de 500W pentru a îmbunătăți semnalul.

● Materiale izolatoare din fibră ceramică de alumină de înaltă calitate

● Precizia controlului temperaturii ±1 grad

● Cu functie de alarma de supratemperatura

● Ventilatorul de răcire poate reduce temperatura carcasei

 

Model

SK2-CVD-12TPB4

Dimensiuni: Lungimea zonei de încălzire standard (mm)

440 mm

Dimensiuni: diametrul tubului standard (mm)

∮60mm

Temperatura max

1200 grade, temperatura de lucru continuă 1100 grade.

Tensiune (V)

220 1P

Tip termocuplu

K

Element de incalzire

Sârmă de rezistență din aliaj HRE

Precizie temp

±1 grad

Rata de incalzire

Ajustare liberă de 0-30 grade/min

Materialul camerei

Folosind material avansat de fibre microcristaline de alumină de înaltă calitate

Structura cuptorului

Structură cu două straturi răcite cu aer, temperatura suprafeței este mai mică de 60 de grade

Regulator de temperatură

Instrument inteligent de control al temperaturii PID, 30 de segmente de program, control SSR, funcție de autoajustare a parametrilor PID; programează creșterea temperaturii, programează conservarea căldurii, programează răcire

Sursa de alimentare RF de 500W

Putere de ieșire: 5-500W ±1 grad

Frecvență RF: 13,56 MHz ±0,005%

Putere reflectată: până la 100 W

Potrivire: automată

Interfață RF: 50Ω, de tip N

Răcire: răcire cu aer

Alimentare: AC 208-240V, 50/60HZ

Sistem de curgere de precizie cu 4 canale de gaz

1. Debitul la scară completă (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500) ML/min. 10 l/min.

2. Tip supapă: supapă Solenold.

3. Poziția de repaus a supapei: În mod normal, închisă.

4. Presiune diferențială: (50-300)kpa

5. Rezistenta la presiune: 3mpa.

6. Temperatura de funcționare: 5-45 grade

7. Materiale: otel inoxidabil 316L.

Sistem de vid

5*10-3Pa

Conexiune rapidă KF25, burduf din oțel inoxidabil, supapă manuală și flanșă, pompa de vid

Opțional pot fi echipate și sisteme de vid mai înalt.

image001

Bine ați venit OEM/ODM

 

Accesorii standard

 

Mănuși termice|Cârlig creuzet|Termocuplu|Bloc de tuburi|Manual de utilizare |Unelte|Pompa de vid| Tub de cuarț |Flanșă |Inel de etanșare |Furtun de gaz 10mm |Suport flanșă, Sistem de gaz, putere RF.

 

Opțional

 

Zona de încălzire diferită pentru alegerea dvs.

Control ecran tactil LCD pentru alegere

Port RS485/USB pentru a conecta computerul pentru alegere.

 

Imagine de detaliu pentru CVD-PECVD

 

image003
Sursa de alimentare RF de 500W
image005
Sistem de vid
image007
Sistem de curgere de precizie cu 4 canale de gaz

 

Aplicație

 

Acest dispozitiv este utilizat în principal pentru creșterea nanofirelor sau pregătirea diferitelor creșteri de pelicule subțiri folosind metoda CVD.

 

garanție

 

Garanție de un an și suport tehnic pe viață

Sfaturi speciale:

1. Consumabilele precum elementul de încălzire, tubul de cuarț, creuzetul de probă etc. nu sunt în perioada de garanție.

2. Daunele cauzate de utilizarea gazelor corozive și a gazului acid nu sunt acoperite de garanție.

 

Tag-uri populare: Sistem pecvd cu trei zone de încălzire 1200c, China 1200c sisteme pecvd cu trei zone de încălzire, producători, furnizori