Caracteristică
● Temperatura maximă RT-1200 grade
● Split tip de cuptor, puteți deschide cuptorul.
● Poate introduce mai mult de 2 canale de gaz, cu un grad de vid de 10Pa folosind o pompă mecanică și o sursă de alimentare RF de 500W pentru a îmbunătăți semnalul.
● Materiale izolatoare din fibră ceramică de alumină de înaltă calitate
● Precizia controlului temperaturii ±1 grad
● Cu functie de alarma de supratemperatura
● Ventilatorul de răcire poate reduce temperatura carcasei
|
Model |
SK2-CVD-12TPB4 |
|
Dimensiuni: Lungimea zonei de încălzire standard (mm) |
440 mm |
|
Dimensiuni: diametrul tubului standard (mm) |
∮60mm |
|
Temperatura max |
1200 grade, temperatura de lucru continuă 1100 grade. |
|
Tensiune (V) |
220 1P |
|
Tip termocuplu |
K |
|
Element de incalzire |
Sârmă de rezistență din aliaj HRE |
|
Precizie temp |
±1 grad |
|
Rata de incalzire |
Ajustare liberă de 0-30 grade/min |
|
Materialul camerei |
Folosind material avansat de fibre microcristaline de alumină de înaltă calitate |
|
Structura cuptorului |
Structură cu două straturi răcite cu aer, temperatura suprafeței este mai mică de 60 de grade |
|
Regulator de temperatură |
Instrument inteligent de control al temperaturii PID, 30 de segmente de program, control SSR, funcție de autoajustare a parametrilor PID; programează creșterea temperaturii, programează conservarea căldurii, programează răcire |
|
Sursa de alimentare RF de 500W |
Putere de ieșire: 5-500W ±1 grad Frecvență RF: 13,56 MHz ±0,005% Putere reflectată: până la 100 W Potrivire: automată Interfață RF: 50Ω, de tip N Răcire: răcire cu aer Alimentare: AC 208-240V, 50/60HZ |
|
Sistem de curgere de precizie cu 4 canale de gaz |
1. Debitul la scară completă (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500) ML/min. 10 l/min. 2. Tip supapă: supapă Solenold. 3. Poziția de repaus a supapei: În mod normal, închisă. 4. Presiune diferențială: (50-300)kpa 5. Rezistenta la presiune: 3mpa. 6. Temperatura de funcționare: 5-45 grade 7. Materiale: otel inoxidabil 316L. |
|
Sistem de vid |
5*10-3Pa Conexiune rapidă KF25, burduf din oțel inoxidabil, supapă manuală și flanșă, pompa de vid Opțional pot fi echipate și sisteme de vid mai înalt.
|
|
Bine ați venit OEM/ODM |
|
Accesorii standard
Mănuși termice|Cârlig creuzet|Termocuplu|Bloc de tuburi|Manual de utilizare |Unelte|Pompa de vid| Tub de cuarț |Flanșă |Inel de etanșare |Furtun de gaz 10mm |Suport flanșă, Sistem de gaz, putere RF.
Opțional
Zona de încălzire diferită pentru alegerea dvs.
Control ecran tactil LCD pentru alegere
Port RS485/USB pentru a conecta computerul pentru alegere.
Imagine de detaliu pentru CVD-PECVD



Aplicație
Acest dispozitiv este utilizat în principal pentru creșterea nanofirelor sau pregătirea diferitelor creșteri de pelicule subțiri folosind metoda CVD.
garanție
Garanție de un an și suport tehnic pe viață
Sfaturi speciale:
1. Consumabilele precum elementul de încălzire, tubul de cuarț, creuzetul de probă etc. nu sunt în perioada de garanție.
2. Daunele cauzate de utilizarea gazelor corozive și a gazului acid nu sunt acoperite de garanție.
Tag-uri populare: Sistem pecvd cu trei zone de încălzire 1200c, China 1200c sisteme pecvd cu trei zone de încălzire, producători, furnizori





